| 一种精确测定芯片内部微纳几何结构的方法 |
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| 引用本文： | 刘剑霜,李伙全,陈一. 一种精确测定芯片内部微纳几何结构的方法[J]. 扬州大学学报(自然科学版), 2010, 13(3) |
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| 作者姓名： | 刘剑霜 李伙全 陈一 |
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| 作者单位： | 1. 扬州大学物理科学与技术学院,江苏扬州,225002
2. 复旦大学材料科学系,上海,200433 |
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| 基金项目： | 扬州大学自然科学基金资助项目,扬州大学教改课题资助项目 |
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| 摘 要： | 提出一种利用高分辨率透射电子显微镜(high resolution transmission electron microscopy,简称HRTEM)对半导体芯片内部微纳几何结构的精确测量方法,分别讨论了测定过程中制样的影响、测量设备放大倍率的校验、样品晶向校对以及不同情况下内标法和标称法的选用.该方法对半导体工业中HRTEM的应用有一定的指导意义.
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| 关 键 词： | 半导体芯片 微纳几何结构 高分辨率透射电子显微镜 内标法 |
Accurate geometric measurement of nanostructure in chips by high resolution transmission electron microscope |
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| LIU Jian-shuang,LI Huo-quan,CHEN Yi. Accurate geometric measurement of nanostructure in chips by high resolution transmission electron microscope[J]. Journal of Yangzhou University(Natural Science Edition), 2010, 13(3) |
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| Authors: | LIU Jian-shuang LI Huo-quan CHEN Yi |
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