| 利用共焦成像原理实现微米级的三维轮廓测量 |
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| 引用本文： | 孔兵,王昭,谭玉山.利用共焦成像原理实现微米级的三维轮廓测量[J].西安交通大学学报,2001,35(11):1151-1154. |
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| 作者姓名： | 孔兵 王昭 谭玉山 |
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| 作者单位： | 西安交通大学机械工程学院, |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(60077031);教育部"教育振兴行动计划”资助项目([2000 ]0000063). |
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| 摘 要： | 以普通光学成像透镜取代显微物镜,以针孔阵列(500×500)取代单针孔,实现了全场并行共焦测量.在数据处理上,采用了内插值三维重构算法,以及二次曲面拟合的系统误差校正算法,可以在较大的采样间距下获取较高的测量精度.实验表明,系统的最大横向测量范围为5mm×5mm,横向测量精度约为13μm,纵向测量精度约为5μm,因此可大大提高测量视场及测量速度.
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| 关 键 词： | 光学测量 内插值 二次曲面拟合 共焦成像 三维轮廓测量 微米级 光学成像透镜 |
| 文章编号： | 0253-987(2001)11-1151-04 |
| 修稿时间： | 2001年4月10日 |
Profile Measurement in Micro Order Precision by Confocal Image |
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| Kong Bing,Wang Zhao,Tan Yushan.Profile Measurement in Micro Order Precision by Confocal Image[J].Journal of Xi'an Jiaotong University,2001,35(11):1151-1154. |
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| Authors: | Kong Bing Wang Zhao Tan Yushan |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | confocal optical measurement interpolation conicoid fitting |
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