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| 寄生式时栅角位移传感器误差源分析与验证 | |
| 作者单位： | ;1.安徽理工大学机械工程学院;2.合肥工业大学仪器科学与光电工程学院;3.重庆理工大学电子信息与自动化学院 |
| 摘 要： | 为了提高寄生式时栅角位移传感器的精度,深入分析误差源产生机理和变化规律,确定其主次影响因素,通过对传感器结构分析和行波公式推导分析,得到寄生式时栅角位移传感器的主要误差来源,包括两相激励信号时间、空间正交性误差以及驻波信号幅值误差、线圈零点残余电压引起的误差等.对各误差分量的具体谐波频率次数进行理论推导,确定了产生不同谐波误差分量的具体原因,并通过实验进行验证.验证结果表明:导致传感器产生零点残余电压的误差影响因素对传感器测量精度的影响最为显著,为寄生式时栅传感器的主要误差来源;激励信号的时间、空间正交误差及两列驻波信号的幅值不等为次要来源. |
| 关 键 词： | 角位移传感器 寄生式时栅 误差源 谐波分析 主次影响因素 |
Error source analysis and verification of parasitic time grating angular displacement sensor |
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| Keywords: | |
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