热处理对氮碳薄膜结构及光学性质的影响 |
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引用本文: | 赵菁,康宁,王金国,徐积仁.热处理对氮碳薄膜结构及光学性质的影响[J].科学通报,1996,41(19):1744-1746. |
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作者姓名: | 赵菁 康宁 王金国 徐积仁 |
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作者单位: | 中国科学院物理研究所!北京100080 |
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基金项目: | 国家自然科学基金,北京中关村联合测试中心基金 |
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摘 要: | 氮碳薄膜由于具有优良物化性能,受到关注,已能采用多种方法获得CN_r薄膜,并对其物性进行了广泛的研究。然而,在考虑其热行为时,多集中于沉积过程中衬底温度的影响。但是,在空气中长时间等温退火后氮碳薄膜的热行为、物性变化和薄膜结构之间的关系,特别是,经加热处理,是否会导致某种价键结构或元素价态变化,从而改变薄膜的性能,并不十分清楚。本文报道了应用XPS,IR和可见-紫外光吸收谱等实验方法,分析了样品经热处理后,其成分和元素价键结构的变化,并对其光学性质进行了测量,对其结构和物性关系进行了探讨。
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关 键 词: | 氮碳薄膜 脱氢 热处理 光学性质 |
收稿时间: | 1996-01-18 |
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