| H型梁谐振式MEMS压力传感器设计 |
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| 引用本文： | 黄崇勇,许高斌,陈兴,马渊明.H型梁谐振式MEMS压力传感器设计[J].合肥工业大学学报(自然科学版),2022,45(2):213-218. |
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| 作者姓名： | 黄崇勇 许高斌 陈兴 马渊明 |
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| 作者单位： | 合肥工业大学 电子科学与应用物理学院,安徽 合肥 230601;安徽省MEMS工程技术研究中心,安徽 合肥 230601 |
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| 摘 要： | 谐振式微电子机械系统(micro-electro-mechanical system,MEMS)压力传感器因其灵敏度高、体积小等特点近年来被广泛研究.根据谐振梁在不同压力作用下发生振动时,轴向应力的改变引起谐振梁等效刚度变化,从而进一步改变谐振梁谐振频率的原理,文章提出一种采用电磁激励/电磁拾振方式测量外界压力的谐振式压力传感器,并对传感器建立模型,利用ANSYS有限元仿真软件对传感器进行模拟分析与仿真验证.结果表明,量程为0～300 kPa、最大过载1.2倍满量程(full-scale,FS)时,初始频率为57.984 kHz,传感器灵敏度达66.98 Hz/kPa,非线性误差小于0.15％FS.
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| 关 键 词： | 微电子机械系统(MEMS) 谐振式压力传感器 电磁激励 频率测量 H型双端固支梁 |
Design of H-type beam resonant MEMS pressure sensor |
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| HUANG Chongyong,XU Gaobin,CHEN Xing,MA Yuanming.Design of H-type beam resonant MEMS pressure sensor[J].Journal of Hefei University of Technology(Natural Science),2022,45(2):213-218. |
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| Authors: | HUANG Chongyong XU Gaobin CHEN Xing MA Yuanming |
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