| 锆钛酸钡钙铁电薄膜的制备及性能研究 |
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| 引用本文： | 邓洋琴,邓朝勇,王旭. 锆钛酸钡钙铁电薄膜的制备及性能研究[J]. 贵州科学, 2017, 35(2). DOI: 10.3969/j.issn.1003-6563.2017.02.011 |
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| 作者姓名： | 邓洋琴 邓朝勇 王旭 |
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| 作者单位： | 贵州大学大数据与信息工程学院,贵州贵阳,550025 |
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| 摘 要： | 利用溶胶-凝胶(sol-gel)法,在Pt/TiO_2/SiO_2/Si衬底上制备出无铅钙钛矿结构薄膜Ba_(0.8)Ca_(0.2)-Zr_(0.05)Ti_(0.95)O_3。溶胶液旋涂后进行前烘时,温度由室温缓慢上升至200℃有利于得到表面较为平整的薄膜。通过XRD、铁电测试仪和AFM对薄膜微观结构及电学性能进行表征,研究退火温度、退火时间等退火工艺对薄膜晶体结构与电学性能的影响。实验结果表明在退火温度和退火时间分别为700℃、11 min时,得到具有饱和极化值、剩余极化值分别为19.6μC/cm~2和5.6μC/cm~2的BCZT钙钛矿结构铁电薄膜。
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| 关 键 词： | 溶胶-凝胶法 退火工艺 微观结构 电学性能 |
Preparation of Ba0.8 Ca0.2 Zr0.05 Ti0.95 O3 thin film and study on its characteristics |
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| DENG Yangqin,DENG Chaoyong,WANG Xu. Preparation of Ba0.8 Ca0.2 Zr0.05 Ti0.95 O3 thin film and study on its characteristics[J]. Guizhou Science, 2017, 35(2). DOI: 10.3969/j.issn.1003-6563.2017.02.011 |
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| Authors: | DENG Yangqin DENG Chaoyong WANG Xu |
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