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| p-ZnO薄膜的制备及其微结构测试与分析 | |
| 引用本文： | 陈毅湛,丁瑞钦,朱慧群,黎扬钢,丁晓贵,杨柳,黄鑫钿,齐德备,谭军.p-ZnO薄膜的制备及其微结构测试与分析[J].五邑大学学报(自然科学版),2008,22(3). |
| 作者姓名： | 陈毅湛 丁瑞钦 朱慧群 黎扬钢 丁晓贵 杨柳 黄鑫钿 齐德备 谭军 |
| 作者单位： | 1. 五邑大学,薄膜与纳米材料研究所,广东,江门,529020 2. 五邑大学,数理系,广东,江门,529020 3. 五邑大学信息学院,广东,江门,529020 4. 五邑大学,机电系,广东,江门,529020 |
| 基金项目： | 广东省自然科学基金，广东省江门市科技攻关项目 |
| 摘 要： | 报道了几种不同的p型ZnO薄膜的制备工艺对其薄膜微观结构的影响.结果表明:ZnO薄膜的结晶度、C轴取向程度、内应力均与制备工艺条件有密切的关系,并对这些关系的机理做了分析和探讨. |
| 关 键 词： | p-ZnO薄膜 退火工艺 X射线衍射 |
The Preparation of p-type ZnO Films and Their Microstructure Measurement and Analysis |
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| CHEN Yi-zhan,DING Rui-qin,ZHU Hui-qun,LI Yang-gang,DING Xiao-gui,YANG Liu,HUANG xin-dian,QI De-bei,TAN Jun.The Preparation of p-type ZnO Films and Their Microstructure Measurement and Analysis[J].Journal of Wuyi University(Natural Science Edition),2008,22(3). | |
| Authors: | CHEN Yi-zhan DING Rui-qin ZHU Hui-qun LI Yang-gang DING Xiao-gui YANG Liu HUANG xin-dian QI De-bei TAN Jun |
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