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双极晶体管导通状态对功率纵向双扩散MOSFET静态电流—电压特性的影响
引用本文:高嵩.双极晶体管导通状态对功率纵向双扩散MOSFET静态电流—电压特性的影响[J].辽宁大学学报(自然科学版),2001,28(4):336-339,348.
作者姓名:高嵩
作者单位:辽宁大学物理系
摘    要:通过对DVMOS结构器件测量的I-V特性和模拟结果的分析,发现在此结构中,寄生的双极管对器件性能具有不良影响,可以来用一种新型的具有浅扩散p^ 区的自对准VDMOS结构,以完全消除寄生的BJT导通机制,这对MOS技术的发展十分有益。

关 键 词:功率纵向双扩散MOSFET  双极晶体管  电流-电压特性  半导体器件  VDMOS结构  导通状态  VDMOSFET
文章编号:1000-5846(2001)04-336-04

Effect of Bipolar Turn-On on the Static Current-Voltage Characteristics of Power Vertical Double Diffused MOSFET
GAO Song,SHI Guangyuan,ZHANG Ying,ZHAO Ye.Effect of Bipolar Turn-On on the Static Current-Voltage Characteristics of Power Vertical Double Diffused MOSFET[J].Journal of Liaoning University(Natural Sciences Edition),2001,28(4):336-339,348.
Authors:GAO Song  SHI Guangyuan  ZHANG Ying  ZHAO Ye
Institution:GAO Song,SHI Guangyuan,ZHANG Ying,ZHAO Ye Department of Physics,Liaoning University,Shenyang 110036 China
Abstract:By the analysis on the measured I-V character and simulation result of VDMOS structure device, the effect of the parasitc bipodar transistor inherent in the structure is discussed. A novel self aligned VDMOS structure with a shallow diffused p +region is presented to eliminate the effect completely. The new structure is very useful for the development of MOS technology.
Keywords:Vertical Double Diffused MOSFET  BJT    I  V  characteristics    
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