| CCD光谱仪诊断低温微波等离子体 |
| |
| 引用本文： | 刘金英,王春林.CCD光谱仪诊断低温微波等离子体[J].中国科学技术大学学报,1991,21(4):477-481. |
| |
| 作者姓名： | 刘金英 王春林 |
| |
| 作者单位： | 中国科学技术大学近代物理系
(刘金英，项志遴)，中国科学技术大学材料科学与工程系
(王春林，彭定坤)，中国科学技术大学材料科学与工程系(孟广耀) |
| |
| 摘 要： | 用智能化CCD光谱仪进行微波(2450MHz)激发的低温等离子体的发射光谱诊断,测量了不同放电功率、流量和压强下的H_α,H_β,H_γ谱线的强度,结果与双探针法一致。
|
| 关 键 词： | CCD光谱仪 诊断 微波等离子体 |
Microwave-excited Low Temperature Plasma Spectroscopic Diagnostic Using Computerized CCD Spectrometer |
| |
| Liu Jinying Xiang Zhilin.Microwave-excited Low Temperature Plasma Spectroscopic Diagnostic Using Computerized CCD Spectrometer[J].Journal of University of Science and Technology of China,1991,21(4):477-481. |
| |
| Authors: | Liu Jinying Xiang Zhilin |
| |
| Institution: | Liu Jinying Xiang Zhilin (Departmemt of Modern Physics) Wang Chunlin Peng Dingkun Meng Guangyao (Depariment of Material Science and Engineering) |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | CCD spectrometer diagnostic microwave plasma |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ |
