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| 两项“863”计划自动化领域MEMS专项课题通过验收 | |
| 摘 要： | 9月24日，光电国家实验室MEMS研究部两项“863”计划自动化领域MEMS专项课题——“低成本、高性能真空熔焊封装关键技术与装备的研究”和“基于MEMS技术的胰岛素泵的研究”验收会在我校举行． |
| 关 键 词： | MEMS技术 “863”计划 自动化 国家实验室 低成本 胰岛素 光电 |
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