| 微电子和光电子制造中的节约型高效精密加工技术 |
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| 引用本文： | 李庆忠,康仁科,郭东明.微电子和光电子制造中的节约型高效精密加工技术[J].江南大学学报(自然科学版),2009,8(6):746-752. |
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| 作者姓名： | 李庆忠 康仁科 郭东明 |
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| 作者单位： | 1. 江南大学,机械工程学院,江苏,无锡,214122
2. 大连理工大学,精密与特种加工教育部重点实验室,辽宁,大连,116024 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金重大项目，江苏省自然科学基金 |
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| 摘 要： | 着重介绍了高效精密加工制造技术的科学内涵、应用范围和在机械加工制造业的重要性,以及国内外研究现状与发展趋势,分析了国内在先进加工制造工艺和装备领域的基础研究中存在的主要问题和差距.
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| 关 键 词： | 微电子 光电子 超精密 制造技术 |
High-Effect and Precise Processing Technology of Economy Type in the Microelectronics and the Photoelectron Being Created |
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| LI Qing-zhong,KANG Ren-ke,GUO Dong-ming.High-Effect and Precise Processing Technology of Economy Type in the Microelectronics and the Photoelectron Being Created[J].Journal of Southern Yangtze University:Natural Science Edition,2009,8(6):746-752. |
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| Authors: | LI Qing-zhong KANG Ren-ke GUO Dong-ming |
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