| 微扰法在静电电子透镜容差计算中的适用性分析 |
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| 引用本文： | 王莉萍,胡康燕,程彬杰.微扰法在静电电子透镜容差计算中的适用性分析[J].西安交通大学学报,1999,33(5):5-9. |
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| 作者姓名： | 王莉萍 胡康燕 程彬杰 |
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| 作者单位： | 西安交通大学,710049,西安 |
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| 摘 要： | 对微扰法在电子光学系统容差计算中的适用性进行了分析，针对电极偏心和电极加工不圆这两种常见缺陷，研究了２个解析模型－偏心双圆筒电容器和共焦椭圆柱电极，推导了其电位分布的表达式，并用所编写的基于微扰法的计算软件，计算了相应的缺陷电极结构的电场分布，将数值计算结果与解析解对比，得到了微扰法的误差关于电极缺陷与尺寸比的变化曲线。结果表明，形位公差为１￣３级时，微扰法的计算误差仅为１０＾－４，对电子光学器件
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| 关 键 词： | 微扰法 容差 偏心 电子光学系统 静电电子透镜 |
| 修稿时间： | 1998-07-07 |
The Tolerance of Perturbation Method for Calculatingof Electrostatic Lenses |
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| Wang Liping,Hu Kangyan,Cheng Binjie.The Tolerance of Perturbation Method for Calculatingof Electrostatic Lenses[J].Journal of Xi'an Jiaotong University,1999,33(5):5-9. |
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| Authors: | Wang Liping Hu Kangyan Cheng Binjie |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | perturbation method tolerance misalignment ellipticity |
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