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ZnO:Al透明导电薄膜的制备及其光电性能的研究
引用本文:林应斌,吴丽平,林銮,黄树铃,李钻钻,杨艳敏,黄志高. ZnO:Al透明导电薄膜的制备及其光电性能的研究[J]. 福建师范大学学报(自然科学版), 2009, 25(3)
作者姓名:林应斌  吴丽平  林銮  黄树铃  李钻钻  杨艳敏  黄志高
作者单位:福建师范大学物理与光电信息科技学院,福建,福州,350108
基金项目:国家自然科学基金,福建省青年人才基金,福建省高分子材料重点实验室开放课题,福建师范大学本科生课外科技计划立项资助项目 
摘    要:利用溶胶-凝胶法在石英衬底上制备Al3+掺杂ZnO薄膜,研究了Al3+掺杂对ZnO薄膜微结构和光学性能的影响.XRD测量结果表明,Zn1-xAlxO薄膜具有六角纤锌矿结构,晶格常数随着Al掺杂浓度的增加而减小;紫外-可见透射光谱(UV)表明,所有薄膜在可见光区的透过率均超过80%;光致发光谱研究发现,随着Al掺杂浓度的增加ZnO的吸收带边发生蓝移,XRD和光学性能研究都证实了ZnO薄膜中的Al3+是以替位式形式存在于晶格中.

关 键 词:溶胶-凝胶  透射光谱  光致发光

Optical and Electrical Properties of Al-doped ZnO Films Prepared Sol-gel Technique
LIN Ying-bin,WU Li-ping,LIN Luan,HUANG Shu-ling,LI Zuan-zuan,YANG Yan-min,HUANG Zhi-gao. Optical and Electrical Properties of Al-doped ZnO Films Prepared Sol-gel Technique[J]. Journal of Fujian Teachers University(Natural Science), 2009, 25(3)
Authors:LIN Ying-bin  WU Li-ping  LIN Luan  HUANG Shu-ling  LI Zuan-zuan  YANG Yan-min  HUANG Zhi-gao
Affiliation:School of Physics and OptoElectronics Technology;Fujian Normal Univesity;Fuzhou 350108;China
Abstract:Al-doped ZnO polycrystalline films were deposited on quartz substrates by using a method of sol-gel technique.The properties of films were characterized by X-ray diffraction(XRD),UV-transmittance spectroscopy and photoluminecent spectra(PL).XRD reveals that the prepared films possess a polycrystalline hexagonal wurtzite crystal structure.All films show transmittance above 80% in the visible region from 400 to 800 nm at room temperature and the near band edge(NBE) of ZnO shifts to lower energy with increasin...
Keywords:ZnO
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