| 碳纳米管气敏传感器微电极的制备与检测 |
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| 引用本文： | 冉祥涛,王成响,王志.碳纳米管气敏传感器微电极的制备与检测[J].山东科学,2014,27(1):22-26. |
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| 作者姓名： | 冉祥涛 王成响 王志 |
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| 作者单位： | 山东省科学院海洋仪器仪表研究所，山东 青岛 266001 |
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| 摘 要： | 基于参数优化设计了一种电场分布合理的叉指微电极结构,利用光刻技术在ITO表面成功制备了最小指间距约为4μm的叉指微电极,为微电极制备提供了一种可靠、低成本的制备方法。将这种微电极用于碳纳米管气敏传感器中,并利用氨气对其气敏特性进行测试,结果表明,纳米材料修饰的微电极气敏传感性能得到了明显提高。
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| 关 键 词： | 光刻 叉指微电极 碳纳米管 传感器 |
| 收稿时间： | 2013-09-06 |
Preparation and detection of the microelectrodes of a carbon nanotube gas sensor |
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| RAN Xiang-tao,WANG Cheng-xiang,WANG Zhi.Preparation and detection of the microelectrodes of a carbon nanotube gas sensor[J].Shandong Science,2014,27(1):22-26. |
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| Authors: | RAN Xiang-tao WANG Cheng-xiang WANG Zhi |
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| Institution: | Institute of Oceanographic Instrumentation, Shandong Academy of Sciences, Qingdao 266001, China |
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| Abstract: | We devise a parameter optimization based interdigital microelectrodes （IMEs） structure with reasonable electric field intensity distribution.We manufacture the IMEs of 4 μm minimum gap on ITO surface by lithography.This provides a reliable and low-cost manufacturing method for IMEs preparation.We apply the IMEs in a carbon nanotube gas sensor,and detect gas-sensjng properties for it with ammonia.Results show that the IMEs structure significantly improves the performance of a nano-modified gas sensor. |
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| Keywords: | lithography interdigital microelectrodes （IMEs） carbon nanotubes （CNTs） sensor |
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