| 微型热式剪应力传感器的热特性建模 |
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| 引用本文： | 王竹萍,仲顺安,聂丹丹,刘汝卿. 微型热式剪应力传感器的热特性建模[J]. 北京理工大学学报, 2010, 30(9): 1112-1116 |
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| 作者姓名： | 王竹萍 仲顺安 聂丹丹 刘汝卿 |
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| 作者单位： | 北京理工大学,信息与电子学院,北京,100081;北京理工大学,信息与电子学院,北京,100081;北京理工大学,信息与电子学院,北京,100081;北京理工大学,信息与电子学院,北京,100081 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目，北京理工大学基础研究基金资助项目 |
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| 摘 要： | 为了提高微机电系统(MEMS)微型热式剪应力传感器的灵敏度,分析了MEMS微型热式剪应力传感器的热平衡机理,建立其相应的数学物理模型.从理论上分析了传感器的热膜、绝缘层及硅基底上的空腔尺寸等结构参数对其灵敏度的影响,并将研究结果与基于Fluent软件的数值模拟结果进行对比.结果表明,所建立的数学模型是合理的.
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| 关 键 词： | 微机电系统(MEMS) 微型热式剪应力传感器 数学建模 灵敏度 |
| 收稿时间： | 2009-12-25 |
Mathematical Modeling of Micro Thermal Shear Stress Sensor |
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| WANG Zhu-ping,ZHONG Shun-an,NIE Dan-dan and LIU Ru-qing. Mathematical Modeling of Micro Thermal Shear Stress Sensor[J]. Journal of Beijing Institute of Technology(Natural Science Edition), 2010, 30(9): 1112-1116 |
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| Authors: | WANG Zhu-ping ZHONG Shun-an NIE Dan-dan LIU Ru-qing |
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| Affiliation: | WANG Zhu-ping,ZHONG Shun-an,NIE Dan-dan,LIU Ru-qing (School of Information and Electronics,Beijing Institute of Technology,Beijing 100081,China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | MEMS micro thermal shear stress sensor mathematical modeling sensitivity |
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