| 基于分解多目标进化算法的光刻区调度方法 |
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| 引用本文： | 张朋,张洁,王卓君,孙可芯. 基于分解多目标进化算法的光刻区调度方法[J]. 华中科技大学学报(自然科学版), 2022, 50(4): 26-32. DOI: 10.13245/j.hust.220403 |
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| 作者姓名： | 张朋 张洁 王卓君 孙可芯 |
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| 作者单位： | 东华大学人工智能研究院,上海201620,东华大学机械工程学院,上海201620 |
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| 基金项目： | 中央高校基本科研业务费专项资金资助项目;国家自然科学基金 |
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| 摘 要： | 针对晶圆制造系统光刻区调度问题，考虑设备专用性约束、掩膜版数量约束及设备加工能力约束，以最小化总完工时间和光刻成本、最大化晶圆准时交付率和设备利用率为目标，提出了基于分解多目标进化算法的光刻区调度方法．针对非支配前沿点分布不均的问题，设计了基于聚类分析的参考点生成方法；综合考虑非支配解的分布均匀性、收敛性及计算资源的合理分配，改进了惩罚边界交叉聚合函数；设计了外部档案变邻域搜索方法，提高算法的求解质量和收敛速度．24组基准算例和晶圆制造仿真系统连续12个月的测试结果表明：提出的分解多目标进化算法相对于多种多目标进化算法，能够取得更好的收敛性和解的多样性．
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| 关 键 词： | 晶圆制造系统 光刻区 多目标调度 分解多目标进化算法 聚合函数 |
Decomposition multi-objective evolutionary algorithm based photolithography area scheduling method |
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| ZHANG Peng,ZHANG Jie,WANG Zhuojun,SUN Kexin. Decomposition multi-objective evolutionary algorithm based photolithography area scheduling method[J]. JOURNAL OF HUAZHONG UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY.NATURE SCIENCE, 2022, 50(4): 26-32. DOI: 10.13245/j.hust.220403 |
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| Authors: | ZHANG Peng ZHANG Jie WANG Zhuojun SUN Kexin |
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