| 铁电材料电畴结构的扫描电镜成象 |
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| 引用本文： | 章天金,王世敏.铁电材料电畴结构的扫描电镜成象[J].湖北大学学报(自然科学版),1991(1). |
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| 作者姓名： | 章天金 王世敏 |
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| 作者单位： | 湖北大学实验中心
(章天金)，湖北大学物理系(王世敏) |
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| 摘 要： | 本文介绍了铁电体电畴结构的扫描电子显微镜成像技术。根据畴反差较弱的特点,着重讨论了样品的处理技术及成像参数的选择技巧。实验结果表明:为了避免畴反差被破坏,必须使用较低的入射电子束能量,较大的入射角和快速帧扫描速度。应用这一技术,成功地在OPTON公司生产的DSM950扫描电镜上观察到了锆钛酸铅二元系压电陶瓷材料90°电畴和180°电畴结构花纹,并且当使用高能电子束轰击未镀导电膜的样品时,能观察到电畴的消失过程。
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| 关 键 词： | 铁电材料 电畴 畸反差 扫描电子显微镜 锆钛酸铅 |
SEM IMAGING OF FERROELECTRIC DOMAINS |
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| Zhang Tianjing.SEM IMAGING OF FERROELECTRIC DOMAINS[J].Journal of Hubei University(Natural Science Edition),1991(1). |
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| Authors: | Zhang Tianjing |
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| Institution: | Zhang Tianjing
(Experimental Centre )
Wang Shiming
(Department of Physics) |
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| Abstract: | This paper describes the techniques of SEM imaging of ferroelectric domains. Since domain contrast is very weak, we discussed emphasis on the method of sample dealing and parameter selecting. The results show that a low primary energy, a large incident angle of the primaries and a fast scanning rate are essential requirments in order to avoid destruction of domain contrast. Using this technique, we observed successfully the 90domains and 180 domains of PZT in the DSM950. |
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| Keywords: | Ferroelectric material Domain contrast Scanning electron microscopy |
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