STM用于超精机械加工表面微观形貌检测与分析的研究 |
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引用本文: | 李俚,李尚平,梁洁,韦宏. STM用于超精机械加工表面微观形貌检测与分析的研究[J]. 广西大学学报(自然科学版), 2003, 28(1): 48-52 |
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作者姓名: | 李俚 李尚平 梁洁 韦宏 |
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作者单位: | 广西大学,机械工程学院,广西,南宁,530004 |
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基金项目: | 广西教育厅跨世纪人才基金项目(S92202) |
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摘 要: | 通过自行研制扫描隧道显微镜(Scanning Tunneling Microscope,以下简称STM)检测了超精机械加工试件表面微观形貌,生成三维立体形貌图,对微观形貌图进行分析,了解相关的加工机理及微观表面形貌缺陷发生的原因,为提高超精加工表面质量及优化加工工艺过程提供了一些参考依据。
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关 键 词: | 扫描隧道显微镜 表面检测 微观形貌 超精机械加工 加工机理 表面质量 |
文章编号: | 1001-7445(2003)01-0048-05 |
修稿时间: | 2002-10-06 |
The measuring and analyzing for surface micro-topography of the ultra-precision surface by scanning tunneling microscopy |
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Abstract: | |
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Keywords: | scanning tunneling microscopy measuring micro-topography |
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