| STM用于超精机械加工表面微观形貌检测与分析的研究 |
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| 引用本文： | 李俚,李尚平,梁洁,韦宏.STM用于超精机械加工表面微观形貌检测与分析的研究[J].广西大学学报(自然科学版),2003,28(1):48-52. |
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| 作者姓名： | 李俚 李尚平 梁洁 韦宏 |
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| 作者单位： | 广西大学,机械工程学院,广西,南宁,530004 |
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| 基金项目： | 广西教育厅跨世纪人才基金项目(S92202) |
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| 摘 要： | 通过自行研制扫描隧道显微镜(Scanning Tunneling Microscope，以下简称STM)检测了超精机械加工试件表面微观形貌，生成三维立体形貌图，对微观形貌图进行分析，了解相关的加工机理及微观表面形貌缺陷发生的原因，为提高超精加工表面质量及优化加工工艺过程提供了一些参考依据。
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| 关 键 词： | 扫描隧道显微镜 表面检测 微观形貌 超精机械加工 加工机理 表面质量 |
| 文章编号： | 1001-7445(2003)01-0048-05 |
| 修稿时间： | 2002年10月6日 |
The measuring and analyzing for surface micro-topography of the ultra-precision surface by scanning tunneling microscopy |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | scanning tunneling microscopy measuring micro-topography |
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