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| LIGA实验站的设计及应用 | |
| 引用本文： | 田扬超,刘刚,洪义麟,郭育华,熊瑛,阚娅.LIGA实验站的设计及应用[J].中国科学技术大学学报,2007(5). |
| 作者姓名： | 田扬超 刘刚 洪义麟 郭育华 熊瑛 阚娅 |
| 作者单位： | 中国科学技术大学国家同步辐射实验室,安徽合肥,230029 中国科学技术大学国家同步辐射实验室,安徽合肥,230029 中国科学技术大学国家同步辐射实验室,安徽合肥,230029 中国科学技术大学国家同步辐射实验室,安徽合肥,230029 中国科学技术大学国家同步辐射实验室,安徽合肥,230029 中国科学技术大学国家同步辐射实验室,安徽合肥,230029 |
| 摘 要： | 介绍了国家同步辐射实验室二期建设的LIGA实验站,研究了同步辐射光发散角对深度同步辐射光刻精度的影响;对深度同步辐射光刻扫描台的精度提出了理论要求;报道了深度同步辐射光刻、电铸和塑铸的实验结果. |
| 关 键 词： | 同步辐射 LIGA 深度光刻 |
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