| Surfatron和Surfaguide对a-Si电池氢化的研究 |
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| 引用本文： | 冯竞,黄铭.Surfatron和Surfaguide对a-Si电池氢化的研究[J].云南大学学报(自然科学版),1988(3). |
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| 作者姓名： | 冯竞 黄铭 |
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| 作者单位： | 云南大学无线电电子学系
(冯竞)，云南大学无线电电子学系(黄铭) |
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| 摘 要： | 本文利用表面波等离子体发生器对a-Si电池氢化并与射频等离子体氢化的结果进行比较。
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| 关 键 词： | 高频放电 等离子体应用 薄膜太阳能电池 |
THE STUDY OF SURFATRON AND SURFAGUIDE FOR THE HYDROGENIZATION OF A-Si SOLAR CELL |
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| Feng Jing Huang Ming.THE STUDY OF SURFATRON AND SURFAGUIDE FOR THE HYDROGENIZATION OF A-Si SOLAR CELL[J].Journal of Yunnan University(Natural Sciences),1988(3). |
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| Authors: | Feng Jing Huang Ming |
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| Abstract: | Microwave plasma genenator of surface wave type was used for hydrogenization of a-Si solar cell and the result was compared with I.C.P. |
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| Keywords: | high frequency discharge plasma applications thin film solar cell |
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