医用镁合金表面含氟类金刚石薄膜腐蚀行为研究

为了提高镁合金的表面硬度和耐蚀性，采用等离子体增强化学沉积技术在AZ31镁合金表面制备含氟DLC膜。研究了氟掺杂量对含氟DLC薄膜表面形貌、耐腐蚀性、疏水性和sp²键含量的影响，并探讨了相应的影响机理。结果表明，氟掺杂对AZ31镁合金表面DLC膜的组织和性能有显著影响。随着四氟化碳沉积时间增加，类金刚石薄膜的粗糙度减小，表面光滑；薄膜中的sp²杂化键逐渐增多；类金刚石薄膜的疏水性先增大后减小；当四氟化碳沉积时间为40 min时，类金刚石薄膜表现出优异的耐人体体液腐蚀特性。