| 热处理对溶胶-凝胶TiO_2薄膜的特性影响 |
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| 引用本文： | S.M.Attia,吴广明,马建华,魏建东.热处理对溶胶-凝胶TiO_2薄膜的特性影响[J].同济大学学报(自然科学版),2001(11). |
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| 作者姓名： | S.M.Attia 吴广明 马建华 魏建东 |
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| 作者单位： | 同济大学波耳固体物理研究所 上海200092
(S.M.Attia，吴广明，马建华)，同济大学波耳固体物理研究所 上海200092(魏建东) |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目 ( 6 99780 17，5 980 2 0 0 7)，上海市教委重点学科资助项目 (JW99-TJ-0 3) |
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| 摘 要： | 研究了热处理对溶胶 -凝胶法制备的TiO2 薄膜材料的晶体结构、致密化以及光学特性的影响 .结果表明TiO2 溶胶颗粒的最低结晶化温度为 40 0℃ ,晶体尺寸随着热处理温度的升高而增大 ;TiO2 薄膜的厚度随着热处理温度的升高从 12 0nm减小到 47nm ,相应的折射率则从 1.85增加到 2 .3;同时 ,TiO2 薄膜的孔洞率随着热处理温度的升高从 0 .2 3降低到 0 .12 2 ,密度则从 2 .83g·cm-3 增加到 3.73g·cm-3 .
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| 关 键 词： | 溶胶-凝胶法 TiO2薄膜 密度 |
Effect of Heat Treatment on Properties of TiO_2 Films Prepared with Sol-gel Method |
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| S.M.Attia,WU Guang-ming,MA Jian-hua,WEI Jian-dong.Effect of Heat Treatment on Properties of TiO_2 Films Prepared with Sol-gel Method[J].Journal of Tongji University(Natural Science),2001(11). |
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| Authors: | SMAttia WU Guang-ming MA Jian-hua WEI Jian-dong |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | sol-gel process TiO 2 thin films density |
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