| 离子轰击辅助电子束蒸发制备含有纳米石墨结构的非晶碳膜 |
| |
| 引用本文： | 唐多昌,李晓红,袁春华.离子轰击辅助电子束蒸发制备含有纳米石墨结构的非晶碳膜[J].西南科技大学学报,2009,24(4):9-12,28. |
| |
| 作者姓名： | 唐多昌 李晓红 袁春华 |
| |
| 作者单位： | 西南科技大学理学院,四川,绵阳,621010 |
| |
| 基金项目： | 四川省教育厅青年基金，西南科技大学博士研究基金 |
| |
| 摘 要： | 采用离子轰击辅助电子束蒸发技术制备了含有纳米石墨结构的碳膜。利用XRD、Ralnan和AFM等方法分析了碳膜的厚度、结构、相成分和形貌。结果表明制备的碳膜是一种具有纳米石墨结构的非晶碳膜。随着离子轰击能量的增大，碳膜的厚度随之减小，纳米石墨结构sp2团簇的尺寸变大，碳膜表面粗糙度增大，并找到了最佳的离子轰击能量。通过对Raman光谱分析发现，在最佳离子轰击能量下形成的纳米石墨结构sp2团簇尺寸大小约为2nm。
|
| 关 键 词： | 离子轰击 纳米石墨 非晶碳膜 |
Preparation of a-C Films Consisted of Nano-graphite Structures by Ion Bombardment Assisted Electron Beam Evaporation Deposition |
| |
| TANG Duo-chang,LI Xiao-hong,YUAN Chun-hua.Preparation of a-C Films Consisted of Nano-graphite Structures by Ion Bombardment Assisted Electron Beam Evaporation Deposition[J].Journal of Southwest University of Science and Technology,2009,24(4):9-12,28. |
| |
| Authors: | TANG Duo-chang LI Xiao-hong YUAN Chun-hua |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | |
| 本文献已被 维普 万方数据 等数据库收录！ |
|
