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| 微加速度计 | |
| 引用本文： | 胡莉,李茜. 微加速度计[J]. 四川大学学报(自然科学版), 2004, 41(Z1): 561-564 |
| 作者姓名： | 胡莉 李茜 |
| 作者单位： | 西南科技大学信控学院,绵阳,621000 |
| 摘 要： | 本文论述了微机械系统(MEMS)的发展,介绍了电容式微加速度计和压阻式微加速度计的结构,分析了它们的工作原理,以及制作工艺. |
| 关 键 词： | 微加速度计 电容 单晶硅 |
Micro - accelerometer |
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| HuLi,LI Qian. Micro - accelerometer[J]. Journal of Sichuan University (Natural Science Edition), 2004, 41(Z1): 561-564 | |
| Authors: | HuLi LI Qian |
| Abstract: | |
| Keywords: | |
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