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(112)面CdTe/Cd1-yZnyTe,Hg1-xCdxTe/CdTe和CdTe/GaAs异质结的方向倾斜
作者单位:刘义族(天津师范大学物理系,天津 300074);于福聚(中国科学院上海技术物理研究所,上海 200083)
摘    要:用X射线双晶衍射(XDCD)法测得分子束外延(MBE)法生长的CdTe/Cd0.959Zn0.041Te(112)B异质结的倾斜角为0.2185°,而且朝[1-1-1]晶体学方向倾斜.为了获得较精确的倾斜角值,绘制了外延层和衬底衍射角的差值Δθ与绕样品表面法线旋转的角度φ之间的准正弦函数.为高分辨率透射电子显微镜(HRTEM)分析制备了MBE法生长的Hg0.535Cd0.465Te/CdTe/GaAs(1-12)B多层异质结的横截面薄膜.CdTe/GaAs异质结的HRTEM明场象表明CdTe(1-12)缓冲层相对于GaAs(1-12)衬底朝[1-11-]方向倾斜约3°,并且在Hg0.535Cd0.465Te/CdTe异质结,Hg0.535Cd0.465Te(1-12)外延膜相对于CdTe(1-12)缓冲层在[11-1]方向,即[1-11-]的反方向倾斜约1°.也分析了Hg0.535Cd0.465Te/CdTe/GaAs多层膜之间的倾斜角关系.

关 键 词:分子束外延;异质结;倾斜角
文章编号:0255-8297(2001)03-0261-04
修稿时间:2000-07-18

Oriental Shift at CdTe/Cd1-yZnyTe, Hg1-xCdxTe/CdTeand CdTe/GaAs Heterojunctions Grown on (112) plane
Abstract:
Keywords:
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