| 基于光对准的多传感器轴装配误差补偿技术 |
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| 引用本文： | 朱荣,周兆英,孙雪峰.基于光对准的多传感器轴装配误差补偿技术[J].清华大学学报(自然科学版),2002,42(11):1463-1465. |
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| 作者姓名： | 朱荣 周兆英 孙雪峰 |
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| 作者单位： | 清华大学,精密仪器与机械学系,北京,100084 |
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| 摘 要： | 含有多传感器的微机电系统在组装传感器时,一般存在着轴对准问题,轴的非对准误差能导致很大的系统测量误差。为此提出一种基于光对准的误差补偿方法,可以在不需要高精度轴对准的前提下,对装配后的组件进行后续误差检测和实时补偿,有效地消除装配误差对测量精度的影响。将该方法实施于微机电方位水平仪,用以测量姿态,通过仿真结果证实了方法的有效性。
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| 关 键 词： | 微机电系统 多传感器 轴装配误差 光对准 误差补偿 |
| 文章编号： | 1000-0054(2002)11-1463-03 |
| 修稿时间： | 2001年11月16 |
Axis-misalignment error compensation method based on optical alignment for a multi-sensor assembly |
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| ZHU Rong,ZHOU Zhaoying,SUN Xuefeng.Axis-misalignment error compensation method based on optical alignment for a multi-sensor assembly[J].Journal of Tsinghua University(Science and Technology),2002,42(11):1463-1465. |
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| Authors: | ZHU Rong ZHOU Zhaoying SUN Xuefeng |
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