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| AlCl_3-NH_3-N_2体系化学气相淀积AIN超细粒子 Ⅱ.AIN的粒度及分布模型 | |
| 作者姓名： | 李春忠 姚光辉 胡黎明 袁渭康 陈敏恒 |
| 作者单位： | 华东化工学院技术化学物理研究室国家重点固定床反应工程实验室(李春忠，姚光辉，胡黎明，袁渭康)，华东化工学院技术化学物理研究室国家重点固定床反应工程实验室(陈敏恒) |
| 摘 要： | 考虑轴向温度分布和浓度分布,建立了热化学气相淀积反应器中描述粒子粒度及分布的一维反应-凝并模型。研究了AlCl_3-NH_3-N_2体系物系参数和操作参数对AlN超细粒子粒度及分布的影响。温度通过改变反应速率、气体粘度和平均分子自由程等影响AlN粒子的合成,并存在最佳温度分布;随停留时间的增加,AlN粒子粒度增大,几何标准方差GSD减小;反应物浓度升高时,AlN粒子粒度增大,但GSD变化不大。模型化研究结果和实验结果相一致。 |
| 关 键 词： | 化学气相淀积 模型建立 粒度分布 温度分布 氮化铝 超细粒子 |
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