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| 硼扩散对硅中氧化层错的吸除作用 | |
| 引用本文： | 谢茂浓 ,汤文国,刘勇,刘晋.硼扩散对硅中氧化层错的吸除作用[J].四川大学学报(自然科学版),1983(4). |
| 作者姓名： | 谢茂浓 汤文国 刘勇 刘晋 |
| 作者单位： | 四川大学，四川大学，四川大学 77级毕业生，77级毕业生，78级毕业生 |
| 摘 要： | 研究了硼扩散横向吸除的规律。实验测量吸除氧化层错的距离为是硼扩散时间,对恒定表面浓度扩散n≈1/2;对限定源扩散n≈1/3。E_v是吸除氧化层错的激活能,在干氧中热处理时,E_v≈0.41ev;在干氮中热处理时,E_v≈0.36ev。讨论了吸除机构吸除距离的近似表达式为: |
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