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扇出型封装中共面波导的信号反射研究
引用本文:孙 跃,李彩林,陆原,林挺宇,李君.扇出型封装中共面波导的信号反射研究[J].科学技术与工程,2018,18(3).
作者姓名:孙 跃  李彩林  陆原  林挺宇  李君
作者单位:桂林电子科技大学,桂林电子科技大学,中国科学院微电子研究所,华进半导体封装先导技术研发中心,中国科学院微电子研究所
摘    要:介绍了扇出型晶圆级封装的工艺流程和结构。分析了扇出型封装结构中共面波导传输线的特性阻抗。针对共面波导在跨区域时的阻抗不连续问题,采用ANASYS软件建立联合仿真模型,从时域和频域的角度分析了阻抗不匹配带来的影响。分析了信号线宽度、信号线与地线间距和地线宽度对阻抗的影响,通过调整主要的参数来使传输线阻抗匹配,对比了调整前后输出端的信号反射噪声。结果表明,调整扇出区域传输线的线间距可以将信号噪声从12%降低到2%,有效地减少了信号的反射。

关 键 词:扇出型封装  传输线  共面波导  HFSS仿真  信号反射  
收稿时间:2017/6/27 0:00:00
修稿时间:2017/6/27 0:00:00

Analysis of signal reflection of coplanar waveguide for fan out packaging
sunyue,LuYuan,LinTingyu and LiJun.Analysis of signal reflection of coplanar waveguide for fan out packaging[J].Science Technology and Engineering,2018,18(3).
Authors:sunyue  LuYuan  LinTingyu and LiJun
Institution:Guilin University of Electronic Technology,,,,
Abstract:
Keywords:fan  out packaging  transmission line  coplanar waveguide  HFSS simulation  signal reflection
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