一种制造快速晶闸管的P型双质掺杂技术

阐述了受主杂质在Ｓｉ中的扩散行为，快速晶闸管制造中的Ｐ型区掺杂工艺设计原理，掺杂方法和杂质浓度分布，并给出了该项技术在工艺生产线上应用结果。通过实验和应用表明，该项技术具有先进性和可行性，为制造快速晶闸管开辟了一条新工艺途径。