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高反射率Ag5In5Te47Sb33相变薄膜热致晶化的微观结构和光学性?…
作者姓名:刘惠勇 姜复松
摘    要:对磁控射频溅射法制备的Ag5In5Te47Sb33相变薄膜热致晶化的微观结构和光学性质的变化进行了研究。沉积态薄膜为非日 态,其晶化温度为160℃。

关 键 词:非晶态合金 热致晶化 微观结构 光学性质 薄膜
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