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| 高反射率Ag5In5Te47Sb33相变薄膜热致晶化的微观结构和光学性？… | |
| 引用本文： | 刘惠勇,姜复松.高反射率Ag5In5Te47Sb33相变薄膜热致晶化的微观结构和光学性？…[J].科学通报,1998,43(16):1783-1783. |
| 作者姓名： | 刘惠勇 姜复松 |
| 摘 要： | 对磁控射频溅射法制备的Ａｇ５Ｉｎ５Ｔｅ４７Ｓｂ３３相变薄膜热致晶化的微观结构和光学性质的变化进行了研究。沉积态薄膜为非日 态，其晶化温度为１６０℃。 |
| 关 键 词： | 非晶态合金 热致晶化 微观结构 光学性质 薄膜 |
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