| 射频激发容性耦合等离子体空间的不均匀性实验研究 |
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| 引用本文： | 邵建国,张杰,徐海朋,辛煜.射频激发容性耦合等离子体空间的不均匀性实验研究[J].苏州大学学报(医学版),2010,26(4). |
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| 作者姓名： | 邵建国 张杰 徐海朋 辛煜 |
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| 作者单位： | 江苏省薄膜材料实验室,苏州大学,物理科学与技术学院,江苏,苏州,215006 |
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| 摘 要： | 使用高分辨的等离子体发射光谱系统(OES)研究了射频驱动的容性耦合Ar等离子体的空间光谱分布特性.实验结果表明,等离子体发射强度的空间分布对压强、频率和放电腔体的结构有很强的依赖关系.边界效应(如电报效应、趋肤效应等)使得等离子体发射光谱在电极边缘附近具有强的光谱强度,从而使得200 mm范围内等离子体的不均匀性高于100 mm范围内的情形;驻波效应的存在导致在反应器中心位置出现一个中等强度的谱峰;另外,由于射频波可以在介质板中传播,上极板覆盖有介质情况下的等离子体的不均匀性要高于无介质覆盖的情形.
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| 关 键 词： | 容性耦合等离子体 发射光谱仪(OES) 趋肤效应 驻波效应 |
Experimental investigation of spatial non-uniformity of RF capacitive coupled plasma |
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| Shao Jianguo,Zhang Jie,Xu Haipeng,Xin Yu.Experimental investigation of spatial non-uniformity of RF capacitive coupled plasma[J].Journal of Suzhou University(Natural Science),2010,26(4). |
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| Authors: | Shao Jianguo Zhang Jie Xu Haipeng Xin Yu |
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