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氮离子轰击改善胶体石墨薄膜平面场发射特性的研究
作者单位:北京大学信息科学技术学院电子学系
摘    要:研究了氮离子(N )轰击对石墨薄膜场发射特性的影响。片层石墨被N 轰击成较整齐排列的锥尖阵列,尖端密度~108cm-2。XPS谱证实有许多N原子注入薄膜,膜内存在大量sp2杂化轨道键。场发射测试表明,经过N 轰击,整个薄膜在场发射的均匀一致性方面有较明显的改善,场发射电流密度从0·3增大到1·65mA/cm2。

关 键 词:氮离子(N  )  溅射轰击  石墨  场发射阵列

Improving the Field Emission Properties of a Graphite Paste Film by Nitrogen Ion Bombardment
Authors:WANG Weiwei SUN Hui YU Ligang ZHANG Gengmin
Institution:WANG Weiwei SUN Hui YU Ligang ZHANG Gengmin~ 1)
Abstract:
Keywords:N-ion  bombardment  graphite  field emission array
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