| 多孔 Low-k 材料各向异性特性声表面波测量模型 |
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| 引用本文： | 李志国,姚素英,肖夏,白茂森.多孔 Low-k 材料各向异性特性声表面波测量模型[J].天津大学学报(自然科学与工程技术版),2007,40(12):1391-1396. |
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| 作者姓名： | 李志国 姚素英 肖夏 白茂森 |
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| 作者单位： | 天津大学电子信息工程学院 天津300072 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金;教育部留学回国人员科研启动基金 |
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| 摘 要： | 声表面波技术可无损测量纳米多孔介电薄膜材料的机械特性参数.采用横观各向同性模型表征二维周期性多孔薄膜的结构特性,推导了表面波在周期性纳米多孔薄膜/硅基底结构中的传播模型.通过编程计算数值算例,得到了薄膜各向异性结构特性及弹性模量对表面波色散曲线的影响.结果表明,纳米通孔方向与传播方向间的角度差会对色散曲线产生明显影响,在垂直于通孔的传播方向不能测出弹性模量E′.最后给出了有助于改善测量精度的措施.此模型可用于纳米多孔低介电常数材料各向异性特性测试实验.
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| 关 键 词： | 声表面波测试 纳米多孔低介电常数材料 各向异性模型 |
| 文章编号： | 0493-2137（2007）12-1391-06 |
| 收稿时间： | 2007-01-09 |
| 修稿时间： | 2007-03-26 |
Surface Acoustic Wave Model for Anisotropic Properties Measurement of Porous Low-k Materials |
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| LI Zhi-guo,YAO Su-ying,XIAO Xia,BAI Mao-sen.Surface Acoustic Wave Model for Anisotropic Properties Measurement of Porous Low-k Materials[J].Journal of Tianjin University(Science and Technology),2007,40(12):1391-1396. |
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| Authors: | LI Zhi-guo YAO Su-ying XIAO Xia BAI Mao-sen |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | surface acoustic wave measurement nano-porous low-k materials anisotropic model |
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