300~700兆赫透射式扫描声学显微镜的研究和试制 |
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作者姓名: | 陈戈林 李德杰 张凤禧 罗淑云 应嘉年 周宏朴 胡思正 金芬年 周启博 王华俭 张克潜 |
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作者单位: | 清华大学(陈戈林,李德杰,张凤禧,罗淑云,应嘉年,周宏朴,胡思正,金芬年,周启博,王华俭),清华大学(张克潜) |
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摘 要: | 在本文中作者描述了工作在300~700兆赫的透射式扫描声学显微镜的研究试制工作.介绍了显微镜的设计和结构,所用声学聚焦系统、换能器及显微镜的机械微波和电路部分.理论分析和实验结果表明该声学显微镜的分辨率不劣于2微米,达到了衍射极限.最后给出了使用该显微镜所获得的一些样品的图像.
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