| 温度补偿对氮化铝(AIN)薄膜择优取向的影响 |
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| 引用本文： | 宋振坤,陈希明,郭燕,孙连婕.温度补偿对氮化铝(AIN)薄膜择优取向的影响[J].天津理工大学学报,2011,27(4). |
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| 作者姓名： | 宋振坤 陈希明 郭燕 孙连婕 |
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| 作者单位： | 天津理工大学电子信息工程学院,天津市薄膜电子与通信器件重点实验室,天津300384 |
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| 摘 要： | 氮化铝(AIN)薄膜不同的择优取向直接影响其压电性和声波传递速度.本文通过改变衬底补偿温度对AIN薄膜的择优取向进行了研究.在正常实验溅射完成后继续通入氮气对衬底进行温度补偿.应用XRD和AFM对氮化铝薄膜的取向性和表面形貌进行表征分析,结果表明本实验制备出了较好的(002)面和(100)面取向的A1N薄膜,而且薄膜沉积均匀,比较致密.
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| 关 键 词： | 氮化铝薄膜 择优取向 温度补偿 原子力显微镜 |
The affect of temperature compensation to preferred orientation of aluminum nitride(AIN)films |
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| SONG Zhen-kun,CHEN Xi-ming,GUO Yan,SUN Lian-jie.The affect of temperature compensation to preferred orientation of aluminum nitride(AIN)films[J].Journal of Tianjin University of Technology,2011,27(4). |
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| Authors: | SONG Zhen-kun CHEN Xi-ming GUO Yan SUN Lian-jie |
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