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微机控制离子质量数监控与锁定装置的研制
引用本文:胡瑞雯,万洪祥,符家平,王东宇. 微机控制离子质量数监控与锁定装置的研制[J]. 西安交通大学学报, 1987, 0(3)
作者姓名:胡瑞雯  万洪祥  符家平  王东宇
作者单位:西安交通大学计算机科学与工程系(胡瑞雯,万洪祥),西安交通大学信息与控制工程系(符家平),西安交通大学信息与控制工程系(王东宇)
摘    要:本文在离子注入机设备领域中,提出一种新的检测控制装置.用于解决VISI和LSI 芯片生产的离子注入机设备中确保掺杂的纯度;提高低剂量注入下重复精度及操作的自动化等问题.在离子注入机的头部高压包内,使用微机进行实时控制.即检测当前质量数,用闭环调节激磁电流的方法调整B,使被分选的离子质量数自动锁定在给定值.锁定精度与高质量数的范围,优于±0.3a.m.u.本文阐述了质量数锁定的理论,实施方法和数据采集、闭环控制、系统接口防护等主要技术关键问题.

关 键 词:离子注入  锁定  实时控制  数据采集  高压防护

MICROCOMPUTER CONTROLLED ION MASS NUMBER MONITORING AND LOCKING
Hu Ruiwen Wan Hongxiang Fu Jiaping Wang Dongyu. MICROCOMPUTER CONTROLLED ION MASS NUMBER MONITORING AND LOCKING[J]. Journal of Xi'an Jiaotong University, 1987, 0(3)
Authors:Hu Ruiwen Wan Hongxiang Fu Jiaping Wang Dongyu
Affiliation:Department of Information and Control Engineering
Abstract:
Keywords:ion implantation  locking  real time control  dat acquisition  high-voltage protection
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