| 微机控制离子质量数监控与锁定装置的研制 |
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| 引用本文： | 胡瑞雯,万洪祥,符家平,王东宇.微机控制离子质量数监控与锁定装置的研制[J].西安交通大学学报,1987(3). |
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| 作者姓名： | 胡瑞雯 万洪祥 符家平 王东宇 |
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| 作者单位： | 西安交通大学计算机科学与工程系
(胡瑞雯，万洪祥)，西安交通大学信息与控制工程系
(符家平)，西安交通大学信息与控制工程系(王东宇) |
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| 摘 要： | 本文在离子注入机设备领域中,提出一种新的检测控制装置.用于解决VISI和LSI 芯片生产的离子注入机设备中确保掺杂的纯度;提高低剂量注入下重复精度及操作的自动化等问题.在离子注入机的头部高压包内,使用微机进行实时控制.即检测当前质量数,用闭环调节激磁电流的方法调整B,使被分选的离子质量数自动锁定在给定值.锁定精度与高质量数的范围,优于±0.3a.m.u.本文阐述了质量数锁定的理论,实施方法和数据采集、闭环控制、系统接口防护等主要技术关键问题.
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| 关 键 词： | 离子注入 锁定 实时控制 数据采集 高压防护 |
MICROCOMPUTER CONTROLLED ION MASS NUMBER MONITORING AND LOCKING |
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| Hu Ruiwen Wan Hongxiang Fu Jiaping Wang Dongyu.MICROCOMPUTER CONTROLLED ION MASS NUMBER MONITORING AND LOCKING[J].Journal of Xi'an Jiaotong University,1987(3). |
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| Authors: | Hu Ruiwen Wan Hongxiang Fu Jiaping Wang Dongyu |
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| Institution: | Department of Information and Control Engineering |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | ion implantation locking real time control dat acquisition high-voltage protection |
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