| 面阵硅场发射阵列的离子束刻蚀 |
| |
| 引用本文： | 张新宇,赵兴荣,易新建,张智. 面阵硅场发射阵列的离子束刻蚀[J]. 华中科技大学学报(自然科学版), 1998, 0(5) |
| |
| 作者姓名： | 张新宇 赵兴荣 易新建 张智 |
| |
| 作者单位： | 华中理工大学光电子工程系 |
| |
| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划资助项目 |
| |
| 摘 要： | 利用光刻热熔法及氩离子束刻蚀技术制作１２８×１２８元面阵硅场发射器件，采用扫描电子显微镜（ＳＥＭ）和表面探针等测试手段分析所制成的面阵硅微尖阵列和硅微台（微环尖）阵列的表面微结构形貌特点．所制成的面阵硅微尖和硅微台（微环尖）器件的图形整齐均匀，达到了预定的各项指标的要求．实验表明，所采用的器件制作方法有较大的实用价值．
|
| 关 键 词： | 场发射；硅微尖阵列；硅微台阵列 |
Ar Ion Beam Etching for Silicon Field Emission Arrays |
| |
| Zhang Xinyu Doctoral Candidate, Dept. of Optoelectronic Eng.,HUST,Wuhan ,China. Zhao Xingrong Yi Xinjian Zhang Zhi. Ar Ion Beam Etching for Silicon Field Emission Arrays[J]. JOURNAL OF HUAZHONG UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY.NATURE SCIENCE, 1998, 0(5) |
| |
| Authors: | Zhang Xinyu Doctoral Candidate Dept. of Optoelectronic Eng. HUST Wuhan China. Zhao Xingrong Yi Xinjian Zhang Zhi |
| |
| Affiliation: | Zhang Xinyu Doctoral Candidate, Dept. of Optoelectronic Eng.,HUST,Wuhan 430074,China. Zhao Xingrong Yi Xinjian Zhang Zhi |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | field emission Si microtip arrays Si microplatform arrays |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ |
|
