|
|||||
|
|
| Co/C软X射线多层膜中的互扩散 | |
| 作者姓名： | 白海力 姜恩永 王存达 田仁玉 U.Bgli |
| 作者单位： | 天津大学应用物理学系，天津大学应用物理学系，天津大学应用物理学系，天津大学应用物理学系，天津大学应用物理学系 天津 300072，天津 300072，天津 300072，天津 300072，天津 300072 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金，北京中关村地区联合分析测试中心资助项目 |
| 摘 要： | 观测多层膜的结构变化,使我们能够在非平衡条件下,研究材料间相互作用,测量原子扩散速率以及形成化合物的激活能。Gook和Hilliard,提出用X射线衍射可测量低至10~(-27)m~2·s~(-1)的互扩散系数。以前的测量工作主要集中在晶态和非晶态金属多层膜,而关于非晶态的金属/非金属多层膜中的互扩散行为的研究则报道较少。作为一种有效的X射线反射镜,Co/C多层膜已成功地应用于X射线望远镜。本文研究了在低温退火条件下,溅射沉积Co/C多层膜中的互扩散现象,并讨论有效扩散系数对调制波长的依赖关系。 |
| 关 键 词： | 多层膜 互扩散系数 临界波长 钴／碳薄膜 |
| 收稿时间： | 1995-12-08 |
| 修稿时间： | 1996-02-15 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |
| 点击此处可从《科学通报》浏览原始摘要信息 | |
| 点击此处可从《科学通报》下载全文 | |