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| 钢表面化学气相沉积钽涂层的研究 | |
| 引用本文： | 卢燕平,张长鑫,赵海滨,韩文礼.钢表面化学气相沉积钽涂层的研究[J].北京科技大学学报,1984(2). |
| 作者姓名： | 卢燕平 张长鑫 赵海滨 韩文礼 |
| 作者单位： | 北京钢铁学院稀有金属教研室 (卢燕平，张长鑫，赵海滨)，北京钢铁学院稀有金属教研室(韩文礼) |
| 摘 要： | 本文研究了Ta-Cl_2-H_2体系在45钢表面化学气相沉积钽涂层工艺,讨论了钽的沉积速度与温度、五氯化钽和氢气压力之间的关系。本文还扼要介绍了用金相、x射线衍射和电子探针分析等方法测定涂层结构的研究结果。腐蚀试验结果表明,涂层样品在37.7％HCl,63％H_2SO_4介质中具有很高的抗蚀能力,其腐蚀速率比未涂层的可降低2～3个数量级。 |
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