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有机源制备的氢化非晶碳膜的新颖发光行为
作者姓名:黄晓辉  徐骏  李伟  马天夫  王立  陈坤基
作者单位:南京大学物理系,南京大学物理系,南京大学物理系,南京大学物理系,南京大学物理系,南京大学物理系 固体微结构国家实验室,南京,210093,固体微结构国家实验室,南京,210093,固体微结构国家实验室,南京,210093,固体微结构国家实验室,南京,210093,固体微结构国家实验室,南京
基金项目:国家自然科学基金 (5 980 2 0 0 4),江苏省自然科学基金 (BK990 47)
摘    要:利用有机碳源 (二甲苯 ) ,采用等离子体增强化学气相沉积 (PECVD)系统制备了一系列氢化非晶碳 (a C :H)薄膜样品 .与利用甲烷 (CH4)制备的a C :H不同 ,该样品的光致发光峰位于蓝绿光范围并且呈现多峰结构 ,而不是表现为一个较宽的单峰 .同时样品发光峰的特征随着制备过程中功率不同而变化 .认为 :a C :H薄膜中的芳香环结构的引入产生了新的发光中心 ,导致PL谱中新峰位的出现

关 键 词:有机源  光致发光  非晶碳
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