| 阳极真空弧沉积装置及弧特性初步诊断 |
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| 引用本文： | 王瑞光,苏晓东.阳极真空弧沉积装置及弧特性初步诊断[J].烟台大学学报(自然科学与工程版),1994(2). |
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| 作者姓名： | 王瑞光 苏晓东 |
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| 作者单位： | 烟台大学 |
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| 摘 要： | 介绍一种新的真空弧沉积实验装置。在１５～４０Ａ的电流范围内，对Ａ１弧等离子体的特性进行了初步诊断。在２５Ａ弧电流下，电子温度为０．４～０．８ｅＶ，电子浓度为１０１５～１０１７ｍ－３。
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| 关 键 词： | 阳极真空弧，沉积，等离子体，静电探针，电子温度 |
The Anodic Vacuum Arc Deposition Device and Preliminary Investigation of Arc Properties |
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| WangRuiguang, Su Xiaodong.The Anodic Vacuum Arc Deposition Device and Preliminary Investigation of Arc Properties[J].Journal of Yantai University(Natural Science and Engineering edirion),1994(2). |
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| Authors: | WangRuiguang Su Xiaodong |
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| Institution: | Yantai University |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Anodic vacuum arc Deposition Plasma Static electricity probe Electron temperature |
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