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| 高频放电等离子体处理及测试实验装置研制 | |
| 引用本文： | 杨孝龙,诸平.高频放电等离子体处理及测试实验装置研制[J].宝鸡文理学院学报(自然科学版),1998,18(3):16-21. |
| 作者姓名： | 杨孝龙 诸平 |
| 作者单位： | [1]安康师专物理系，陕西安康725000 [2]不详 |
| 摘 要： | 介绍了自行研制的高频放电等离子体处理及测试实验装置。该装置可用于高频等离子体对固体材料表面处理及处理过程的动态测试，其中包括等离子体参数测试、质谱分析、FTIR测试和ESR测试。 |
| 关 键 词： | 高额放电 等离子体处理 等离子体诊断 测试 |
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