| 铝纳米颗粒增强氧化镓日盲光电探测器性能研究 |
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| 作者姓名： | 余建刚 李强 姚慧珍 李秀源 于淼 贾仁需 张立春 |
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| 作者单位： | 1. 中北大学仪器与电子学院动态测试技术国家重点实验室;2. 西安电子科技大学微电子学院宽禁带半导体材料与器件重点实验室;3. 鲁东大学物理与光电工程学院 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(编号:62075092,52003256,12004257)；;山西省高等学校科技创新(编号:2020L0315)资助项目； |
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| 摘 要： | 基于金属纳米等离子体的局域表面等离激元效应(LSPR)能够增强局域电场强度,并表现出优异的光捕获能力,可有效提升光电子器件的性能.本文结合时域有限差分法和磁控溅射技术,分别从理论和实验方面研究了金属Al纳米等离子体对β-Ga2O3日盲光电探测器光电特性的影响.研究发现,在254 nm日盲紫外光照射下,半径为30 nm的Al纳米等离子体可以产生LSPR效应.得益于Al等离子体的LSPR效应, β-Ga2O3日盲光电探测器的光谱响应度和探测率分别提升了4.7倍和6倍,器件暗电流降为原来的62.5%.本研究为Al纳米等离子体在日盲波段的应用提供了理论和实验基础,也为进一步提升日盲光电探测器的光电性能提供了新方法.
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| 关 键 词： | 日盲光电探测器 表面等离激元 氧化镓 铝纳米颗粒 |
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