最少变量数边界元提取三维VLSI互连电感与电阻 |
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引用本文: | 方蜀州,王泽毅.最少变量数边界元提取三维VLSI互连电感与电阻[J].中国科学(E辑),2003,33(2):186-192. |
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作者姓名: | 方蜀州 王泽毅 |
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作者单位: | 清华大学计算机科学与技术系设计自动化教研组,北京,100084 |
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基金项目: | 国家自然科学基金(批准号:69876024),国家重点基础研究基金(G1988030404),美国自然科学基金(ECR-0096383)资助项目 |
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摘 要: | 为得到高频复杂结构三维互连电感与电阻需求解电磁场涡流问题. 提出一种三维涡流计算模型, 在导体与无限大自由空间中利用矢量磁位表示其中的电磁场, 得到间接边界积分方程, 并利用边界元离散化技术进行求解. 这种方法避免对导体体积区域进行离散; 作为一种间接边界元方法, 它具有最少的变量数; 由于不对导体中的电流方向进行限制, 可以计算互相垂直导体之间的互电感和互电阻. 数值计算结果利用2-D解析解进行了验证; 计算了互相垂直导体在不同频率和间距下的互电感和互电阻.
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关 键 词: | 互连线 寄生电感电阻 间接边界积分方程 超大规模集成电路 |
收稿时间: | 2002-01-24 |
修稿时间: | 2002年1月24日 |
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