| 一种静电驱动微机械元件的结构模型 |
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| 引用本文： | 殷玲,陈非凡,李云龙.一种静电驱动微机械元件的结构模型[J].清华大学学报(自然科学版),2002,42(11):1466-1468. |
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| 作者姓名： | 殷玲 陈非凡 李云龙 |
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| 作者单位： | 清华大学,精密仪器与机械学系,北京,100084 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(69978008)，教育部高等学校骨干教师资助计划资助项目 |
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| 摘 要： | 静电驱动的微机械装置是许多微机电系统(MEMS)中的重要模块。根据微光机电系统(MOEMS)可编程相位光栅的设计思想,提出一种静电驱动的微机械元件(微梁)作为可编程光栅的基本结构元件,并以ANSYS软件的有限元分析为依据,对其结构模型作较深入的研究,探讨了各主要结构参数及控制电压对结构驱动性能的影响。结果表明,在设计尺度范围内,微梁主要结构参数按照对光带变形的影响大小排列分别为微梁厚度、微梁变形前与衬底间的距离及微梁长度.
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| 关 键 词： | 可编程相位光栅 微机电系统(MEMS) 有限元分析 静电驱动 |
| 文章编号： | 1000-0054(2002)11-1466-03 |
| 修稿时间： | 2001年9月28日 |
Structural model of electrostatically actuated micromechanical component |
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| YIN Ling,CHEN Feifan,LI Yunlong.Structural model of electrostatically actuated micromechanical component[J].Journal of Tsinghua University(Science and Technology),2002,42(11):1466-1468. |
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| Authors: | YIN Ling CHEN Feifan LI Yunlong |
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