惯性步进扫描器控制接口的设计

本文介绍了一种采用惯性步进型扫描器的新型扫描隧道显微镜(STM)的设计，研制出了一种用于该扫描器的接口电路。文章重点对该扫描器的位置粗调驱动电路和隧道电流前置放大电路等接口进行了设计，并完成了该接口的制作和调试，最后在使用该接口电路的新型STM上扫描出具有较高分辨率的镀金铜的表面形貌。测试表明，该接口工作稳定，使用方便，并能发挥该惯性步进型扫描器高稳定性的优点。