|
|||||
|
|
| 光学薄膜厚度监控的研究 | |
| 作者姓名： | 魏红振 杨杨 李家熔 |
| 作者单位： | 华中理工大学激光工程研究院 |
| 摘 要： | 光学薄膜厚度监控的研究魏红振杨杨李家熔（华中理工大学激光工程研究院武汉４３００７４）对于多层薄膜的制备，精确监控每一层膜的厚度是必须的，否则不可能制备一个预期的薄膜系统。应用最广泛的监控方法是采用光电检测，直接测量薄膜透过率或反射率值的极值控制方法。... |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
|
||||||||||||||||
|
||||||||||||||||
|
||||||||||||||||
|
|
|
|
| 设为首页 | 免责声明 | 关于勤云 | 加入收藏 |
|
Copyright©北京勤云科技发展有限公司 京ICP备09084417号 |